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平面度測量方法

平面度測量方法

簡要描述:

LAMTECH平面度測量檢測儀器,平面度測量方法采用掠入射光干涉原理,專注于高精密加工表面平面度快速測量評估, 廣泛應用于航空航天,汽車工業噴油嘴行業,泵、閥門密封件表面,以及光學工程,激光工程等領域。

產品時間:2020-03-12

LAMTECH平面度測量檢測儀器,平面度測量方法采用掠入射光干涉原理,專注于高精密加工表面平面度快速測量評估, 廣泛應用于航空航天,汽車工業噴油嘴行業,泵、閥門密封件表面,以及光學工程,激光工程等領域。德國*平面度測量檢測儀器,質量保證。

平面度測量檢測儀器,平面度測量方法產品特點:
非接觸式平面度測量接觸
高精密評估: <0.4µm
測量速度快: <3秒
可用于車間現場, 100%全檢
平面度評估符合ISO/TS12781-1(FLTt)
三維形貌評估軟件, 可支持CNC編程批量檢測
表面自動識別系統, 或手動區域(圓, 圓環, 矩形區域)評估
數據采集量大, 一次完成對300,000點的評估
快速生成報告并保存為.csv數據格式, 支持Q-das等統計分析軟件
廣泛應用于拋光, 研磨或細磨精密表面, 像閥門盤, 密封環等
 

平面度測量檢測儀器,技術參數:
 

型    號

TOPOS 50

TOPOS 100

測量范圍(直徑)

50mm

100mm

參考平面平面度

優于0.06µm

參考面材料

石英玻璃

靈敏度

0.5,1,2或4µm每紋

精度

(0.1¡­0.4)um + 2%x測量值, 基于靈敏度

Z軸波動范圍

低于100um, 表面斜度所限制

FLTt重復性

優于0.01µm1)

分辨率

優于0.01µm

數據采集量

300,000點

測量時間

小于2s

整體尺寸

560mm X 300mm X 400mm

680mm X 440mm X 880mm

重量

34kg

80kg

 

平面度測量檢測儀器,應用示例:

 

 

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